化学气相沉积(CVD)
NH3、He、N2O、TEOS(C8H20O4Si)、TEB(C6H15BO3)、TEPO( C6H15O4P)、PH3、ClF3、SiH2Cl2、NF3、SiH4、WF6、C2F6、TiCl4、CH4
离子注入
AsF5、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、Xe
光刻胶印刷
F2、He、Kr、Ne
扩散
H2、Cl3OP
刻蚀
He、CF4、C4F8、C5F8、CHF3、CH2F2、Cl2、HBr、BCl3、SF6、CO
掺杂
BCl3、B2H6、BF3、PH3、AsH3
电子大宗气体
环境气、保护气、载气
N2、O2、Ar、CO2
电子气体
电子特种气体